测量目的

     为了维持玻璃的平坦性，必须在更宽广的范围内，进行精确的控制温度，这是因为如果在玻璃基板内產生温度差，那么将会产生残留应力，而造成为弯曲等玻璃变形的，或者在切割时让玻璃出现变形，影响了玻璃基板的稳定性，并且还有可能因为残留应力的结果，在制程中贴付偏光板之后，会产生光的相位差，造成LCD模组出现漏光的现象。并且应力作用会造成于玻璃表面的伤痕，也会让基板产生破损的结果。

 测量方法

使用美国MTI的高精度激光位移传感器   MTI LTC-025-02SA/SP 逆时针旋转22.5°，如下图所示

装置构造

测试结果

每移动5mm测试一组数据

通过曲线拟合计算平坦度，通过以下图形可以看出此次实验的面板平坦度为3μm

市场应用

通过用MTI的激光位移传感器LTC-025-02SA/SP成功测量透明材质的平坦度，从而弥补了传统激光位移传感器在透明材质或镜面反射测量上的不足，增加了激光位移传感器新的应用领域，拓宽了激光位移传感器的市场份额，且性价比相当高。

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